发明名称 |
一种半导体发光器件及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种半导体发光器件,包括:衬底;在所述衬底上具有氧化硅膜层;在所述氧化硅膜层上具有点阵排列的圆孔,所述圆孔的深度与氧化硅膜层的深度相等,在所述圆孔内具有n型GaN膜;在所述n型GaN膜上具有至少一个周期的GaInN/GaN量子阱;在所述的GaInN/GaN量子阱上具有p型GaN膜。本发明提供的半导体发光器件中,GaInN/GaN量子阱呈点阵排列,与在衬底上直接外延得到的量子阱结构相比,点阵排列的GaInN/GaN量子阱可以提高LED显示屏的分辨率。 |
申请公布号 |
CN101958333A |
申请公布日期 |
2011.01.26 |
申请号 |
CN200910055071.0 |
申请日期 |
2009.07.20 |
申请人 |
上海半导体照明工程技术研究中心 |
发明人 |
李抒智;杨卫桥;王康平;马可军;周颖圆;熊峰;侯晓燕 |
分类号 |
H01L27/15(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/15(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
一种半导体发光器件,包括:衬底;在所述衬底上具有氧化硅膜层;在所述氧化硅膜层上具有点阵排列的圆孔,所述圆孔的深度与氧化硅膜层的深度相等,在所述圆孔内具有n型GaN膜;在所述n型GaN膜上具有至少一个周期的GaInN/GaN量子阱;在所述GaInN/GaN量子阱上具有p型GaN膜。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路887弄78号5楼 |