发明名称 一种半导体发光器件及其制备方法
摘要 本发明提供一种半导体发光器件,包括:衬底;在所述衬底上具有氧化硅膜层;在所述氧化硅膜层上具有点阵排列的圆孔,所述圆孔的深度与氧化硅膜层的深度相等,在所述圆孔内具有n型GaN膜;在所述n型GaN膜上具有至少一个周期的GaInN/GaN量子阱;在所述的GaInN/GaN量子阱上具有p型GaN膜。本发明提供的半导体发光器件中,GaInN/GaN量子阱呈点阵排列,与在衬底上直接外延得到的量子阱结构相比,点阵排列的GaInN/GaN量子阱可以提高LED显示屏的分辨率。
申请公布号 CN101958333A 申请公布日期 2011.01.26
申请号 CN200910055071.0 申请日期 2009.07.20
申请人 上海半导体照明工程技术研究中心 发明人 李抒智;杨卫桥;王康平;马可军;周颖圆;熊峰;侯晓燕
分类号 H01L27/15(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L27/15(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 逯长明
主权项 一种半导体发光器件,包括:衬底;在所述衬底上具有氧化硅膜层;在所述氧化硅膜层上具有点阵排列的圆孔,所述圆孔的深度与氧化硅膜层的深度相等,在所述圆孔内具有n型GaN膜;在所述n型GaN膜上具有至少一个周期的GaInN/GaN量子阱;在所述GaInN/GaN量子阱上具有p型GaN膜。
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