从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法

摘要

提供了一种通过从半导体的后处理步骤的背面研磨过程产生的废料浆中收集和提纯硅粉以回收硅粉的方法，并且更特别地提供了一种采用如下步骤回收硅粉的方法：利用收集离心机从背面研磨过程产生的废料浆中收集低纯度硅粉；将从收集离心机收集的硅粉与化学溶液混合以溶解杂质；并且通过使用提纯离心机将与化学溶液混合的硅粉提纯为高纯度硅粉。用于从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法包括：从废料浆回收硅粉的收集步骤(S100)，其中收集步骤(S100)将废料浆供至收集离心机(100)并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉，该收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴，并且筒体马达(M1)和螺杆轴马达(M2)被安装为独立地控制筒体和螺杆轴的旋转；对从废料浆收集的硅粉进行提纯的提纯步骤(S200)，其中提纯步骤(S200)包括：将收集步骤(S100)中收集的硅粉与其中酸作为主要成分且溶解杂质的化学溶液混合的搅拌步骤(S210)；以及将搅拌步骤(S210)中混合的混合物供至提纯离心机(300)并且分离硅粉的分离步骤(S220)；在真空干燥器内干燥提纯步骤(S200)中提纯的硅粉的干燥步骤(S300)；以及包装在干燥步骤(S300)中所干燥硅粉的包装步骤(S400)。

主权项

一种从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法，包括：从废料浆回收硅粉的收集步骤(S100)，其中收集步骤(S100)将废料浆供至收集离心机(100)并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉，该收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴，并且筒体马达(M1)和螺杆轴马达(M2)被安装为独立地控制筒体和螺杆轴的旋转；以及对从废料浆中收集的硅粉进行提纯的提纯步骤(S200)，其中提纯步骤(S200)包括：将收集步骤(S100)中收集的硅粉与其中酸作为主要成分且溶解杂质的化学溶液混合的搅拌步骤(S210)；以及将搅拌步骤(S210)中混合的混合物供至提纯离心机(300)并且分离硅粉的分离步骤(S220)。