基片装卸装置

摘要

本发明公开了一种基片装卸装置，包括支撑架、传动机构、滑动机构及升降支架：支撑架的下表面设有滚轮；升降支架包括与支撑架呈平行对应设置的升降部及由升降部的上端相对支撑架向后垂直弯折形成的承载部，升降部上与支撑架相对的一侧垂直设有齿条，承载部的上表面的前后两侧分别设有第一支撑块和第二支撑块从而形成用于承载基片的承载区；传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于支撑架上的固定座及穿过固定座并固定连接第一传动组件和第二传动组件的传动轴，第一传动组件包括手柄、蜗杆及与蜗杆啮合的蜗轮，第二传动组件包括齿条及与齿条啮合的齿轮；滑动机构包括设于支撑架上的导轨及设于升降支架上并与导轨滑动卡接的滑块。

主权项

一种基片装卸装置，其特征在于，包括支撑架、传动机构、滑动机构及用于承载基片的升降支架：所述支撑架的下表面均匀分布有滚轮，所述滚轮带动所述支撑架运动；所述升降支架包括升降部和承载部，所述升降部与所述支撑架在垂直方向呈平行对应设置，所述承载部由所述升降部的上端相对所述支撑架向后垂直弯折形成，与所述支撑架相对的所述升降部的一侧垂直设有齿条，所述承载部的上表面的前后两侧分别向上延伸形成第一支撑块和第二支撑块，所述第一支撑块和所述第二支撑块形成承载区，所述基片固定承载于所述承载区内；所述传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于所述支撑架上的固定座及穿过所述固定座且两端分别固定连接所述第一传动组件和第二传动组件的传动轴，所述第一传动组件包括穿过所述支撑架并与所述支撑架枢接的手柄、固定连接所述手柄的一端的蜗杆及固定连接于所述传动轴的一端并与所述蜗杆啮合的蜗轮，所述第二传动组件包括所述齿条及固定连接于所述传动轴的另一端并与所述齿条啮合的齿轮；所述滑动机构包括设于所述支撑架上并与所述齿条平行的导轨及设于所述升降支架的升降部上并与所述导轨滑动卡接的滑块，转动所述手柄，从而使所述升降支架在所述齿轮和齿条的配合下实现垂直方向上的升降运动。