等离子体处理装置

摘要

一种等离子体处理装置(A)，穿设有与包覆电极(3)及散热器(6)连通的定位用孔(B)。将螺栓(71)插通在该定位用孔(B)中，借此来正确且容易地实现包覆电极(3)的定位。另外，将螺旋弹簧(73)配设在螺栓(71)的头部(71a)与散热器(6)之间。借此，可使头部(71a)与散热器(6)之间具有由螺旋弹簧(73)的弹性力引起的余隙，从而可有包覆电极(3)进行变形的余地。

主权项

一种等离子体处理装置，隔着间隔件部来相向地配置多个电极，将这些电极与所述间隔件部所包围的空间作为放电空间，将等离子体产生用气体供给至该放电空间，并且将电压施加至所述电极之间，借此来使该放电空间内产生放电而产生等离子体，所述等离子体处理装置的特征在于：用以对所述电极进行冷却的散热器与所述电极相向地配置于所述多个电极与所述间隔件部所构成的放电容器的外侧，并且在所述电极、所述间隔件部、及所述散热器上，沿着所述电极的相向方向穿设有彼此连通的定位用孔，在所述定位用孔中贯通设置有安装构件，该安装构件借由沿着所述定位用孔的穿孔方向的弹性力来使所述电极、所述间隔件部、及所述散热器彼此压接。