| 发明名称 | 盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐具有由式(aa)表示的二价基团，其中X<sup>a</sup>和X<sup>b</sup>各自独立地表示-O-或-S-，R<sup>a</sup>、R<sup>b</sup>、R<sup>c</sup>和R<sup>d</sup>各自独立地表示氢原子、C1-C4烷基或C1-C4烷氧基，并且m表示1或2。<img file="201010230018.2_ab_0.GIF" wi="229" he="111" /> | ||
| 申请公布号 | CN101955476A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN201010230018.2 | 申请日期 | 2010.07.14 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;杉原昌子;坂本宏 |
| 分类号 | C07D317/72(2006.01)I;C07D319/08(2006.01)I;C07D339/06(2006.01)I;C07D497/10(2006.01)I;C07D493/10(2006.01)I;C07D493/22(2006.01)I;C07D495/22(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07D317/72(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 柳春琦 |
| 主权项 | 1.一种盐，所述盐具有由式(aa)表示的二价基团：<img file="FSA00000195752700011.GIF" wi="849" he="394" />其中X<sup>a</sup>和X<sup>b</sup>各自独立地表示-O-或-S-，R<sup>a</sup>，R<sup>b</sup>，R<sup>c</sup>和R<sup>d</sup>各自独立地表示氢原子，C1-C4烷基或C1-C4烷氧基，并且m表示1或2。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||