| 发明名称 |
SUBSTRATE CONVEYANCE EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060060569(A) |
申请公布日期 |
2006.06.05 |
| 申请号 |
KR20050110974 |
申请日期 |
2005.11.18 |
| 申请人 |
DAIHEN CORPORATION |
发明人 |
TSUBOTA RYUSUKE;ISHIDA HIROFUMI;FUKUMA KUNIO |
| 分类号 |
B65G49/07;B65G49/02;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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