| 主权项 |
1.一种基板保持和旋转装置,系用来保持基板使其旋转者,其特征在于包含有:自转基座(Spin base),其结合在旋转轴,用来围绕该旋转轴进行旋转;包夹构件,其被安装在上述自转基座,其位置可以在抵接基板之周缘部而可包夹基板之包夹位置、及从该包夹位置退避之退避位置之间变位者;包夹构件驱动机构,其在上述包夹位置和退避位置之间驱动该包夹构件;和旋转限制机构,其与该包夹构件驱动机构连动,在容许上述自转基座之旋转的旋转容许状态和限制上述自转基座之旋转的旋转限制状态之间迁移者。2.如申请专利范围第1项之基板保持和旋转装置,其中上述包夹构件驱动机构包含有驱动源、获得来自该驱动源之驱动力藉以进行移动的移动构件、和将该移动构件之运动传达到上述包夹构件的驱动力传达机构;上述旋转限制机构包含有设在上述旋转轴或自转基座之扣合部;和锁定构件,其被设在上述移动构件,迁移至藉由该移动构件之移动与上述扣合部相扣合的扣合状态和解除与上述扣合部之扣合的扣合解除状态。3.如申请专利范围第2项之基板保持和旋转装置,其中上述移动构件具备有凸轮随动器,用以沿着上述旋转轴移动,同时将驱动力传达到上述包夹构件驱动机构;上述驱动力传达机构包含有:转动环,其被安装在上述自转基座,对于上述自转基座可以围绕上述旋转轴转动;连杆机构,其将该转动环之转动传达到上述包夹构件;和凸轮构件,其被固定在上述转动环,用来挡住上述凸轮随动器,将传达自该凸轮随动器之驱动力转换成为上述转动环之转动。4.如申请专利范围第1至3项中任一项之基板保持和旋转装置,其中上述旋转限制机构,系当利用上述包夹构件驱动机构将上述包夹构件从包夹位置导引到退避位置时,比上述包夹构件被驱动更早从旋转容许状态变成旋转限制状态,当利用上述包夹构件驱动机构将上述包夹构件从退避位置导引到包夹位置时,在上述包夹构件之驱动完成后从上述旋转限制状态迁移至旋转容许状态。图式简单说明:图1是图解图,用来说明适于使用本发明之第1实施形态之基板处理装置之构造。图2是平面图,用来表示透视自转夹头之内部构造之平面图。图3是纵向剖面图,用来说明自转夹头之内部构造。图4是抽出转动环之近旁之构造所描绘之底面图。图5是平面图,用来表示驱动移动构件用之构造。图6是图5之VI-VI线剖面图。图7是图5之VII-VII线剖面图。图8是图解式之分解斜视图,用来说明在自转基座停止旋转之状态,使包夹构件在包夹位置和退避位置之间移位用之构造。图9是移动构件和环状扣合构件之平面图。图10是图解式斜视图,用来说明本发明之第2实施形态之基板处理装置之一部份之构造。图11是图10之构造之一部份之图解式剖面图。图12是上述第2实施形态之移动构件之平面图。图13说明用以限制自转基座之旋转之构造。图14是图解式剖面图,表示用以限制自转基座之旋转之另一构造例。 |
