无尘室风机滤网机组合并乾盘管结构改良

主权项

一种无尘室风机滤网机组合并乾盘管组结构改良，其包括：一机壳，该机壳四周设有平均分布之格栅通风孔，底部则装设一滤网架；一直立式环状乾盘管，其装设于机壳上方内部边缘做为回风口，该直立式环状乾盘管上设有可连接至冷却系统之冷却水进水口及回水口以及多点结露感测器与控制阀，底部则装设一排水盘者；一HEPA滤网，其装设于机壳底部之滤网架上而形成一出风口；一送风风机，其安装于出风口上方；由上述元件组成之风机滤网机组合并乾盘管结构系安装于无尘室中制程设备上方之天花板上，该制程设备产生之热气可藉由无尘室天花板上之通风孔经机壳四周之回风口进入直立式环状乾盘管，再藉由送风风机导引至HEPA滤网所形成之出风口，向下提供单一方向流之洁净空气至无尘室者。