PLASMA PROCESSING APPARATUS,申请号KR20080046042-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR101010191(B1)	申请公布日期	2011.01.21
申请号	KR20080046042	申请日期	2008.05.19
申请人		发明人
分类号	H05H1/24	主分类号	H05H1/24
代理机构		代理人
主权项
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