一种基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片

摘要

本发明涉及一种基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片，包括MOSFET器件栅，MOSFET器件栅内设有电介质，MOSFET器件栅下设有氮化硅薄膜，氮化硅薄膜下设有沟道，沟道两侧一边为漏极，另一边为源极，电介质中设有传感器电容，所述漏极和源极分别为P型掺杂和N型掺杂，沟道与源极内侧之间设有隧道结。本发明有益的效果是：应用量子隧穿效应，使传感器漏极输出电流增力100倍，并克服了容件的短沟道效应，避免了使用高K介质材料。

主权项

一种基于虚拟仪器的脉搏信号采集系统的传感器芯片，其特征是：包括MOSFET器件栅(2)，MOSFET器件栅(2)内设有电介质(3)，MOSFET器件栅(2)下设有氮化硅薄膜(4)，氮化硅薄膜(4)下设有沟道(5)，沟道(5)两侧一边为漏极(6)，另一边为源极(7)，电介质(3)中设有传感器电容(1)，所述漏极(6)和源极(7)分别为P型掺杂和n型掺杂，沟道(5)与源极(7)内侧之间设有隧道结(8)。