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发明名称
摘要
申请公布号
JP4616557(B2)
申请公布日期
2011.01.19
申请号
JP20030585165
申请日期
2003.04.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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