第III族氮化物涂层及方法

摘要

本发明提供一种组合物，其为由第III族氮化物、溶剂体系和分散剂制得的分散体。该分散体可用于在多种衬底——例如玻璃、硅、二氧化硅、氮化硅、碳化硅、氮化铝、蓝宝石和有机聚合物——上制备第III族氮化物薄膜。可通过调节分散体的离心过程和选择所需的上清液层来控制用于制造薄膜的第III族氮化物的颗粒大小。第III族氮化物可含有掺杂剂。可通过煅烧将分散剂从薄膜中去除。图3显示出硅衬底上的GaN薄膜的X射线衍射图。

主权项

一种分散体组合物，包括氮化镓、溶剂体系和纤维素衍生的分散剂，其中氮化镓包括直径小于20μm的晶体颗粒。