发明名称 |
光伏多晶硅铸锭炉炉底多轴同步提升装置 |
摘要 |
本发明涉及光伏多晶硅铸锭炉炉底同步提升装置,该装置包括一台多轴运动控制器、三个伺服驱动器、三个伺服电机及其传动机构,三套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件;该多轴运动控制器通过运动控制总线分别与三个伺服驱动器相连,每个伺服驱动器的输出端与一个伺服电机的输入端相连,每个伺服电机的输出端通过其传动机构与每套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件相连,所述三套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件通过机械装置分别与光伏多晶硅铸锭炉底相固接。本发明控制精度高,调试整定方便,提高了生产效率,缩短了多晶硅铸锭生产周期。 |
申请公布号 |
CN101949059A |
申请公布日期 |
2011.01.19 |
申请号 |
CN201010260312.8 |
申请日期 |
2010.08.23 |
申请人 |
清华大学;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
发明人 |
于庆广;翟志华;冯龑 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
廖元秋 |
主权项 |
一种光伏多晶硅铸锭炉炉底同步提升装置,其特征在于,该装置包括一台多轴运动控制器、三个伺服驱动器、三个伺服电机及其传动机构,三套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件;该多轴运动控制器通过运动控制总线分别与三个伺服驱动器相连,每个伺服驱动器的输出端与一个伺服电机的输入端相连,每个伺服电机的输出端通过其传动机构与每套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件相连,所述三套滚珠丝杠与涡轮涡杆组件通过机械装置分别与光伏多晶硅铸锭炉底相固接。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华园1号 |