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发明名称 POLISHING PAD COMPOSITION AND METHOD OF MANUFACTURE AND USE
摘要
申请公布号 KR20110005295(A) 申请公布日期 2011.01.17
申请号 KR20107026820 申请日期 2009.04.28
申请人 SEMIQUEST, INC. 发明人 BAJAJ RAJEEV
分类号 B24D3/26;B24B37/00;B24D7/00;H01L21/304 主分类号 B24D3/26
代理机构 代理人
主权项
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