摘要 |
In einer elektrischen Verbindungseinheit, die mit vakuumdichter Signalführung an eine Vakuumpumpe angeschlossen werden kann, ist eine einlagige durchkontaktierte Keramikplatte (3) zwischen einem atmosphärenseitigen Gehäuseteil (1) und einem vakuumseitigen Gehäuseteil (2) vakuumdicht eingeklemmt. In dem atmosphärenseitigen Gehäuseteil (1) ist ein Steckverbinder (25, 26) angeordnet, der auf der Atmosphärenseite außen anschließbar ist und mit Durchkontaktierungen (16, 16', 17, 17') der Keramikplatte (3) in signalführender Verbindung steht. An der Vakuumseite der Keramikplatte (3) ist mindestens ein Steckverbinder (18, 19) angebracht, der über die Durchkontaktierungen (16, 16', 17, 17') der Keramikplatte (3) mit dem auf der Atmosphärenseite außen anschließbaren Steckverbinder (25, 26) signalführend verbunden ist.
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