| 摘要 |
La présente invention se rapporte à une installation de pompage (IP) avec au moins une première pompe volumétrique (10) et une deuxième pompe volumétrique (20), ainsi qu’avec un module de contrôle (MC), dans laquelle un gaz est évacué d’un volume enfermé (VE) par le biais de la première pompe volumétrique (10) et/ou de la deuxième pompe volumétrique (20), où l’installation de pompage (IP) comprend en outre au moins une valve de contrôle (VC) qui est contrôlée par le module de contrôle (MC) afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l’installation de pompage (IP). |
