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<p>Ein Messelement zur Aufnahme einer Auslenkung umfasst einen auf einem Halbleitersubstrat angeordneten Bereich und eine Elektrode zur Beeinflussung einer Leitfähigkeit des Bereichs, wobei die Elektrode bezüglich dem Bereich derart auslenkbar angebracht ist, dass sich zwischen der Elektrode und dem Bereich ein Überlappungsbereich ergibt, der eine mit einer Auslenkung der Elektrode veränderliche Ausdehnung aufweist. Eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements hängt von der Leitfähigkeit des Bereichs ab und ist durch eine Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs steuerbar, wobei die Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht, so dass eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht.</p> |
