用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统及方法

摘要

本发明涉及一种用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统及方法，包括可使加热的气体化学剂和液体化学剂产生雾状化学剂的雾化器，若干个化学湿处理腔体单元，若干个去离子水喷淋湿处理腔体单元，以及异丙醇(IPA)取干处理腔体单元，以及将待处理材料依次送入各处理单元腔体内的传输机构，该系统还包括喷雾刀，该喷雾刀具有多个雾状化学剂射口，喷射口中间设有毛细管，所述雾状化学剂通过毛细管周边的喷射口空间呈扇形喷射至待处理材料的表面。使单面连续化学湿处理变得简单可行，有效解决了传统固定化学工艺槽重复使用化学液的交叉沾污问题；同时增强了平板基片，待处理材料薄膜衬底的化学工艺处理均匀性，灵活性及产量。

主权项

一种用雾状化学剂进行单面连续化学湿处理的系统，包括可使加热的气体化学剂和液体化学剂产生雾状化学剂的雾化器，若干个化学湿处理腔体单元，若干个去离子水喷淋湿处理腔体单元，以及异丙醇(IPA)取干处理腔体单元，以及将待处理材料依次送入各处理单元腔体内的传输机构，其特征在于，该系统还包括喷雾刀，该喷雾刀具有多个雾状化学剂射口，喷射口中间设有毛细管，所述雾状化学剂通过毛细管周边的喷射口空间呈扇形喷射至待处理材料的表面。