辐射产生器件、光刻装置、器件制造方法及由此制造的器件

摘要

一种用于基于放电产生辐射源的装置，包括阴极和阳极。该阴极和阳极材料以流态提供。当装置在使用中时，材料形成等离子体箍缩。任选的是，可以使用喷嘴来提供该材料。阴极和/或阳极可形成平坦表面。可以延长材料的轨道。可以使用激光更容易地引起放电。可将激光引导到阳极或阴极或位于阳极和阴极之间的单独材料上。

主权项

一种用于产生辐射的器件，包括：第一喷嘴，用于提供第一材料的第一喷射流，其中第一材料的第一喷射流用作第一电极；第二电极；和点火源，用于触发第一电极和第二电极之间的放电，其中所述点火源配置成通过第一材料的蒸发来触发放电。