一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法。该复合涂层的特征在于WC-Co硬质合金上，形成以W-C梯度结构的过渡层和以金刚石涂层为耐磨涂层的复合涂层。其制备方法是，以硬质合金为试样，在Murakami试剂中浸蚀表层WC形成富钴层，然后以纯钨作为靶材，氩气和含碳气体作为反应气体，采用反应溅射方法，通过调节含碳活性气体在反应气氛中的浓度制备不同结构的W-C梯度结构作为过渡层，以化学气相沉积技术制备金刚石耐磨涂层。本发明既解决膜/基结合强度的问题，又保证金刚石薄膜表面光洁度。

主权项

一种金刚石/W‑C梯度结构复合涂层，其特征在于：所述的金刚石/W‑C梯度结构复合涂层在WC‑Co硬质合金基材表面制备而成，所述的金刚石/W‑C梯度结构复合涂层包括W‑C梯度结构的过渡层和金刚石耐磨层，所述过渡层为WC‑Co和WC的梯度结构层，所述的耐磨层为金刚石薄膜；所述的WC的梯度结构层为从WC‑Co硬质合金基材到金刚石/W‑C梯度结构复合涂层表面方向W∶C依次递增的多层W‑C相，其中W∶C原子比≥1∶1。