发明名称 SURFACE TREATMENT BY PLASMA
摘要
申请公布号 JPS5669382(A) 申请公布日期 1981.06.10
申请号 JP19790143868 申请日期 1979.11.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOTSUYANAGI MASAHIKO;HIROSE MASAHIKO;YASUI TAKESHI
分类号 C23F4/00;C23C8/02;C23C8/36;C23F1/00;C23G5/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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