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经营范围
发明名称
SURFACE TREATMENT BY PLASMA
摘要
申请公布号
JPS5669382(A)
申请公布日期
1981.06.10
申请号
JP19790143868
申请日期
1979.11.08
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
YOTSUYANAGI MASAHIKO;HIROSE MASAHIKO;YASUI TAKESHI
分类号
C23F4/00;C23C8/02;C23C8/36;C23F1/00;C23G5/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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