发明名称 晶圆稳定垫片
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.01.11
申请号 TW099215602 申请日期 2010.08.13
申请人 亿尚精密工业股份有限公司 发明人 林明弘;辛佳容
分类号 B65D85/90 主分类号 B65D85/90
代理机构 代理人 陈金铃 台南市安平区建平五街122号
主权项 一种晶圆稳定垫片,系具有固定垫,固定垫之二侧系分别形成有接触部,以供接触晶圆,而固定垫与接触部之间接设有复数之支持部,且各支持部之间分别形成有镂空部,再于固定垫上形成有枢设部,用以枢接于一固定座而供固定于一壳盖内,并于固定垫之底端枢设有转轮。如申请专利范围第1项所述之晶圆稳定垫片,其中,该接触部系具有圆弧面。如申请专利范围第1或2项所述之晶圆稳定垫片,其中,该支持部与该固定垫之间形成有夹角。
地址 高雄县凤山市镇北北巷20之13号