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发明名称 Apparatus for removing particle of Ion Implanter and method thereof
摘要
申请公布号 KR101006302(B1) 申请公布日期 2011.01.06
申请号 KR20080041372 申请日期 2008.05.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01J37/30 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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