| 发明名称 |
AUIGKEIT EINES PLASMA-ÄTZPROZESSES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69942983(D1) |
申请公布日期 |
2011.01.05 |
| 申请号 |
DE19996042983 |
申请日期 |
1999.09.24 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
KLIPPERT, WALTER E.;KADAVANICH, VIKORN MARTIN |
| 分类号 |
G01B11/02;H01L21/306;B01J19/08;B81C1/00;G01B11/06;G01B11/22;H01L21/302;H01L21/3065;H01L33/00;H05H1/00;H05H1/46 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
