发明名称 Bearbeitungsanlage
摘要 Um bei einer Bearbeitungsanlage für plattenförmige Objekte, mit einer Belichtungseinrichtung und mit einem eine Objektträgerfläche zur Aufnahme des Objekts aufweisenden Objektträger, wobei die Belichtungseinrichtung und der Objektträger relativ zueinander bewegbar sind, derart zu verbessern, dass die Position des plattenförmigen Objekts relativ zu dem Objektträger exakt bestimmt werden kann, wird vorgeschlagen, dass eine Kantenerfassungseinrichtung vorgesehen ist, welche mindestens eine Kantenbeleuchtungseinheit umfasst, dass die Kantenbeleuchtungseinheit in mindestens einem Teil eines Objektkantenbereichs einen Beleuchtungsbereich aufweist, innerhalb von welchem ein Anleuchten einer in dem jeweiligen Objektkantenbereich liegenden Objektkante von Seiten des Objektträgers mit flächenhaft abgestrahltem Licht erfolgt, und dass im Abstand von der Objektträgerfläche auf einer dem Objektträger gegenüberliegenden Seite des Objekts mindestens eine Kantenbilderfassungseinheit vorgesehen ist, welche einen in dem Beleuchtungsbereich liegenden Kantenabschnitt der Objektkanten auf eine Bildfläche als Kantenbild abbildet, und dass mit der mindestens eine Kantenbilderfassungeinheit das jeweilige Kantenbild positionsgenau relativ zum Objektträger erfassbar ist.
申请公布号 DE102009032210(A1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE20091032210 申请日期 2009.07.03
申请人 KLEO AG 发明人 OPOWER, HANS;JUENGER, KLAUS
分类号 G03F7/20;G01B11/03;G01B11/04;G01B11/24 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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