| 发明名称 | 载置台 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种载置台，其能够使顶板的表面电阻降低，获得稳定的检测结果，并且能够防止来自顶板的漏电流，进一步能够降低制造成本。本发明的载置台(20)包括：具有半导体芯片(W)的载置面的由无氧铜构成的顶板(21)；连续地覆盖该顶板(21)的下表面(21A)以及侧面(21B)的由氧化铝构成的绝缘被膜(22)；和以与该绝缘被膜(22)接触的方式配置的且由无氧铜构成的冷却套管(23)。 | ||
| 申请公布号 | CN101266261B | 申请公布日期 | 2011.01.05 |
| 申请号 | CN200810086088.8 | 申请日期 | 2008.03.14 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 筱原荣一;山田浩史 |
| 分类号 | G01R1/02(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种载置台，用于载置被检查体，其特征在于，包括：具有所述被检查体的载置面的由导电性材料构成的上部板状体；连续地覆盖该上部板状体的与所述载置面相反侧的表面以及该上部板状体的侧面的至少下部的由电绝缘材料构成的绝缘被膜；和以与该绝缘被膜接触的方式配置且由导电性材料构成的下部板状体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||