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发明名称 Verfahren zum Abscheiden einer Nanoverbund-Schicht auf einem Substrat mittels chemischer Dampfabscheidung
摘要
申请公布号 DE102008056968(B4) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE200810056968 申请日期 2008.11.13
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 FAHLAND, MATTHIAS;VOGT, TOBIAS;GUENTHER, STEFFEN;SCHILLER, NICOLAS
分类号 C23C16/448;C23C16/50;C23C16/515 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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