一种三维相移电子散斑干涉装置

摘要

本实用新型提供了一种三维相移电子散斑干涉装置，该三维相移电子散斑干涉装置包括三个激光器、一个大错位方棱镜、相移器和摄像头，每个激光器的前面均设置有一个扩束镜，大错位方棱镜设置在被测物的正前方，相移器设置在被测物的一侧，摄像头设置在大错位方棱镜的出光方向上。本实用新型采用大错位方棱镜和三个激光器，对三个激光照明干涉场采用一个相移器；三维变形散斑场同时实现相移，从而保证变形场三个位移分量的同时测量，一次性测量得到物体变形的三维位移分量，具有光路简单，操作方便，测量精度高的优点。

主权项

一种三维相移电子散斑干涉装置，包括三个激光器、一个大错位方棱镜、相移器和摄像头，其特征是：每个激光器的前面均设置有一个扩束镜，大错位方棱镜设置在被测物的正前方，相移器设置在被测物的一侧，摄像头设置在大错位方棱镜的出光方向上。