发明名称
摘要
申请公布号 JP4607850(B2) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 JP20060324855 申请日期 2006.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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