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发明名称 CHEMISCH VERSTÄRKTE LICHTEMPFINDLICHE HARZZUSAMMENSETZUNG ZUR HERSTELLUNG EINES DICKFILMS ODER ULTRADICKFILMS
摘要
申请公布号 DE602004030276(D1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE200460030276T 申请日期 2004.09.14
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP.;AZ ELECTRONIC MATERIALS (JAPAN) K.K. 发明人 MAKII, TOSHIMICHI;NISHIWAKI, YOSHINORI;AKASHI, KAZUMICHI
分类号 G03F7/039;C08G2/18;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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