| 发明名称 |
METHOD OF SELECTIVE ETCHING AND SILICON SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1852905(A4) |
申请公布日期 |
2011.01.05 |
| 申请号 |
EP20060712144 |
申请日期 |
2006.01.23 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
KUME, FUMITAKA |
| 分类号 |
H01L21/66;C30B29/06;C30B33/10;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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