一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜及其制作方法

摘要

本发明涉及一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜设计及制作方法，属于压电MEMS器件设计和集成制作技术领域。本发明包括微反射镜面、压电悬臂梁和弓形弯曲弹性窄梁，压电悬臂梁由硅悬臂梁表面固定厚度大于2μm的PZT驱动膜组成；三个压电悬臂梁分别通过三个弓形弯曲弹性窄梁与微反射镜面连接，压电悬臂梁两两之间呈120°夹角分布。本发明的制作方法首先在基片上制备压电厚膜，然后在压电厚膜上刻蚀压电悬臂梁图形；其次在PZT压电厚膜表面制作Au/Cr双层金属上电极和微反射镜面图形；最后在正面和背面刻蚀Si基片，形成三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜。本发明偏转方向多，PZT厚膜驱动力大，光损耗小；且制作工艺与MEMS工艺兼容，具有批量生产的潜力，可广泛用于光通讯领域。

主权项

一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜，其特征在于包括：一个微反射镜面(4)、三个压电悬臂梁、三个弓形弯曲弹性窄梁(3)，压电悬臂梁由硅悬臂梁(1)表面固定厚度大于2μm的PZT驱动膜(2)组成，三个压电悬臂梁分别通过三个弓形弯曲弹性窄梁(3)与微反射镜面(4)连接，三个压电悬臂梁与微反射镜面(4)均在同一平面内，且压电悬臂梁两两之间呈120°夹角分布。