一种采用绕轴芯扭转振动的射频微机电式谐振器

摘要

本实用新型属于射频通信及微电子机械技术中一种绕轴芯线扭转振动的射频微机电式谐振器，包括在顶层设有圆柱形凹槽的抗干扰绝缘层及接地电容上极板、电介层、接地电容下极板、底板的基板，含输入端和输出端的驱动电极，设于圆柱形凹槽底部的偏置电极及设于该偏置电极上和凹槽内的“扇叶”型谐振梁，接地电极；驱动电极中各输入和输出电极的工作面与谐振梁对应扇叶上的工作面平行设置、工作时组成换能电容以产生最大幅度的输出交变电流信号，实现谐振。因而具有工作频率高，能量损耗小，品质因数、工作频率及其稳定性高，加工工艺简单可靠，使用维护方便，可与现有的电子通信设备配套用于移动通讯、全球定位系统等高频波段无线通信等特点。

主权项

一种采用绕轴芯扭转振动的射频微机电式谐振器，包括基板，含输入端电极和输出端电极的驱动电极，偏置电极，设于驱动电极的输入端与输出端之间及偏置电极上部的谐振梁，接地电极，其特征在于基板包括位于顶层且设有圆柱形凹槽的抗干扰绝缘层、以下依次为接地电容上极板、电介层、接地电容下极板及底板，以上各层依次紧密连接成一体；偏置电极设于抗干扰绝缘层圆柱形凹槽的底部、并通过其导线与设于该绝缘层顶部的偏置导线接头连接成一体，谐振梁则为底部设有圆柱型底座的“扇叶”型谐振梁、该谐振梁通过其上的圆柱型底座嵌入抗干扰绝缘层上的圆柱形凹槽内、与凹槽的圆环面及设于其底部的偏置电极紧贴并可相对轴芯线扭转式连接，驱动电极的输入端电极和输出端电极均分别由两个以谐振梁中心为对称设置的柱状电极组成、各柱状电极顺轴芯线方向至少有一个面为平面，同组电极之间由导线连接成一体，而输入端电极及输出端电极的设置采用：两输入端电极与两输出端电极之间相互间隔90°交叉设置，且各输入端及输出端电极的工作面与谐振梁上对应扇叶的工作面相互平行、以使两者工作时组成换能电容；各驱动电极导线及偏置电极导线均分别设于基板内、各对应电极接头则固定于抗干扰绝缘层上部，而接地电极则与接地电容下极板连接后其上部接头亦固定于抗干扰绝缘层顶部。