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发明名称 Järjestely ALD-reaktorin yhteydessä
摘要
申请公布号 FI121543(B) 申请公布日期 2010.12.31
申请号 FI20050005613 申请日期 2005.11.17
申请人 BENEQ OY 发明人 SOININEN, PEKKA;SNECK, SAMI
分类号 C23C16/455;C23C;C23C16/54;C30B25/08;C30B25/12 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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