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发明名称 PATTERN FORMING METHOD AND PHASE SHIFT MASK MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR101004503(B1) 申请公布日期 2010.12.31
申请号 KR20070016232 申请日期 2007.02.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F1/29;G03F1/68;G03F1/72;G03F1/80 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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