发明名称 DURCH PLASMAVERSTÄRKTE CHEMISCHE AUFDAMPFUNG ABGELAGERTE POLYMERISCHE REFLEXMILDERNDE BESCHICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE60334980(D1) 申请公布日期 2010.12.30
申请号 DE20036034980 申请日期 2003.04.11
申请人 BREWER SCIENCE INC. 发明人 SABNIS, RAM W.;SHIH, WU-SHENG
分类号 G03F7/30 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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