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Verfahren zur Herstellung von Organoalkoxyhydrogensilanen mit einem Borgehalt unter 100 ppb der Formel RHSi(OR), wobei x + y + z = 4 und x, y, z größer/gleich 1, wobei in einem ersten Schritt ein mit Bor verunreinigtes Organohalogenhydrogensilan der Formel RHSiHal, wobei x + y + z = 4, x, y, z größer/gleich 1 und Rlineare oder verzweigte Alkyl-, Cycloalkyl-, Aryl-, Alkenyl- oder Arylalkylreste mit 1 bis 12 Kohlenstoffatomen sind und Hal F, Cl, Br oder J ist, einer Behandlung mit Kieselsäure oder Alumosilikat unterworfen wird und die Kieselsäure oder das Alumosilikat in einem zweiten Schritt anschließend von dem Organohalogenhydrogensilan abgetrennt wird und dann das gereinigte Organohalogenhydrogensilan mit Alkohol R-OH umgesetzt wird, wobei RMethyl-, Ethyl-, n-Propyl-, iso-Propyl-, n-Butyl-, iso-Butyl-, tert.-Butyl-, n-Pentyl-, iso-Pentyl-, neo-Pentyl- oder tert.-Pentylrest bedeutet.
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