一种高灵敏度的光增感型气体传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种高灵敏度的光增感型气体传感器及其制备方法。是在气敏材料的光增感型气体传感器中，引入光催化剂以提高敏感体的气体灵敏度，即以光催化剂-气敏功能复合氧化物半导体为敏感体，一方面气敏材料实现了对待测气体的良好响应，另一方面光催化剂实现了对紫外光的最大可能的吸收，综合作用的结果是提高了敏感体的光照效率和气敏效率，最终提高了气体传感器的灵敏度。与纯净的气敏材料相比，如用二氧化锌∶二氧化锡质量比为3∶7作为敏感体的传感器在250℃下对100ppm的乙醇气体的灵敏度由4.3增大到了10；二氧化钛∶二氧化锡质量比5∶5作为敏感体的传感器在室温下对100ppm的乙醇气体的灵敏度由9增大到了16。

主权项

一种高灵敏度的光增感型气体传感器，由衬底(1)、电极(2)、加热器(3)、敏感体(4)以及紫外光源(5)组成，其特征在于：是以光催化剂 气敏功能复合氧化物半导体为敏感体(4)，敏感体中光催化剂的质量含量为10％～90％，其余为气敏材料。