多种聚合物复合材料电热微驱动器

摘要

一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线电极与发热电阻丝相连，置于应力控制层上；基座支撑结构上有金属柱阵列，能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁，是驱动的核心部件，受热产生翘曲，恢复到室温时基本保持平直；作为一个具体实例，发热电阻丝条宽15微米，厚度3微米，功能膨胀层厚度10微米，应力控制层厚度10微米，仿真计算得到输入功率为20mW，10ms后悬臂梁驱动位移达到约80微米。

主权项

一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，其特征在于包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层，功能膨胀层由膨胀材料SU 8胶包裹发热电阻丝构成，发热电阻丝与引线电极相连，引线电极穿过功能膨胀层固定在应力控制层上，应力控制层固定在带有金属柱阵列的基座支撑结构上，这样功能膨胀层和应力控制层形成双层结构，双层结构一端固定在基座支撑结构上，另一端伸长部分形成悬臂梁悬空，构成整个器件的悬臂梁式结构，所述基座支撑结构包括基座和金属柱阵列，基座上面是金属柱阵列，两者均为金属。