用于测量表面形状轮廓的方法和装置

摘要

一种用于测量薄材料板的表面的形状轮廓的装置，包括：光源，用于提供被引导至该薄材料板的表面处的光束；线性平移平台，其耦合至光源以使光源在该薄材料板的该表面上方平移，从而该光束在被引导至表面处时入射在表面上的多个位置处，并在多个位置中的每个位置处产生反射光束；位于预定位置处的多个光接收器，用于选择性地截取在多个位置中的每个位置处产生的反射光束；数据采集设备，其被配置成接收关于光源与在截取多个位置中的每个位置处所产生的反射光束的多个光接收器中选定的一个光接收器之间的位置差的信息；以及数据分析设备，其被配置成将位置差信息与薄材料板的表面的形状轮廓相关联。

主权项

一种用于测量薄材料板的表面的形状轮廓的装置，包括：光源，用于提供被引导至所述薄材料板的所述表面处的光束；线性平移平台，其耦合至所述光源以使所述光源在所述薄材料板的所述表面上方平移，从而所述光束在被引导至所述表面处时入射在所述表面上的多个位置处，并在所述多个位置中的每个位置处产生反射光束；位于预定位置处的多个光接收器，用于选择性地截取在所述多个位置中的每个位置处产生的所述反射光束；数据采集设备，其被配置成接收关于所述光源与在截取所述多个位置中的每个位置处所产生的所述反射光束的所述多个光接收器中选定的一个光接收器之间的位置差的信息；以及数据分析设备，其被配置成将所述位置差信息与所述薄材料板的所述表面的形状轮廓相关联。