发明名称 | 单相流体印刻平板印刷方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种通过减少存在于设置在基片上的粘性液体层的气泡,减少在印刻层中的图象失真。为此,该方法包括改变靠近粘性液体的气体的输送。具体地说,使靠近将记录图案的基片的气氛被相对于粘性液体、基片、模板或它们的组合是高溶解度或高扩散度或既是高溶解度又是高扩散度的气体充满。此外,或取代使气氛被一定气体充满,可以减小气氛的压力。 | ||
申请公布号 | CN101932754A | 申请公布日期 | 2010.12.29 |
申请号 | CN200980104462.5 | 申请日期 | 2009.02.05 |
申请人 | 分子制模股份有限公司 | 发明人 | F·Y·徐;N·胡斯努季诺夫 |
分类号 | C23F1/12(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/12(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 浦易文;丁晓峰 |
主权项 | 一种用于减少存在于定位在基片上的粘性液体层中的气体的方法,所述方法包括:改变靠近所述粘性液体的气体的输送,从而增加所述气体通过所述粘性液体、所述基片、与所述基片隔开的模制组件或它们的组合的输送。 | ||
地址 | 美国得克萨斯州 |