一种改进的慢拉槽

摘要

一种改进的慢拉槽，包括槽体、压缩空气管及纯水管，所述槽体水面上方安装一根不锈钢式压缩空气管，所述压缩空气管下方设有接通纯水的纯水管。本实用新型有益效果为：通过设置带有压缩空气的不锈钢管，使得从管壁上小孔吹出的气体可将槽内水面的泡沫吹走，并从溢流口排出，避免泡沫在慢拉上升的过程中吸附在硅片上面，避免产生水印及影响硅片质量；通过设置纯水管既可保证慢拉槽内的水位，又可保持水槽内的水的清洁。

主权项

一种改进的慢拉槽，包括槽体(1)、压缩空气管(2)及纯水管(3)，其特征在于：所述槽体(1)水面上方安装一根不锈钢式压缩空气管(2)，所述压缩空气管(2)下方设有接通纯水的纯水管(3)。