发明名称 Präzises Lösen von Oxid
摘要
申请公布号 DE112007003685(T5) 申请公布日期 2010.12.23
申请号 DE200711003685T 申请日期 2007.11.23
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 KONONCHUK, OLEG
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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