内嵌存储器装置及制程方法

摘要

本发明为一种内嵌存储器装置，用以解决不稳定电压源造成电路可靠性降低的问题，本发明的内嵌存储器包含了一晶体管电容及一金属夹成电容，以提升电压源环的稳定度，且可稳定内嵌存储器的电压，也对于内嵌存储器周围电路的电压源提供稳压的作用。

主权项

一种内嵌存储器装置，其特征在于，该内嵌存储器装置包括：一核心电路，该核心电路外围依序以一接地环与一电压源环环绕；一晶体管电容，位于所述的核心电路的电压源环及接地环下方，链接于该电压源环及该接地环，且与所述的核心电路并联；及一金属夹成电容，位于所述的核心电路上方，链接于所述的电压源环及接地环，且与所述的核心电路及晶体管电容并联；藉此，通过所述的晶体管电容与所述的金属夹成电容以增加所述的电压源的稳定度。