发明名称 | 相似性检测方法和装置 | ||
摘要 | 一种相似性检测方法和装置。所述方法包括:获取两组检测数据,所述检测数据用于表征产品的性质,所述检测数据符合对数正态分布;建立各组检测数据的对数正态分布函数对应的线性回归模型;计算各组检测数据的线性回归模型对应的误差平方和以及误差均方;设置各组检测数据的线性回归模型对应的置信带,所述置信带与所述计算所得的误差均方关联;若每组检测数据的线性回归模型在另一组检测数据的线性回归模型对应的置信带内,确定两组检测数据相似。所述相似性检测方法和装置可以提高相似性检测的准确性。 | ||
申请公布号 | CN101923123A | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
申请号 | CN200910053144.2 | 申请日期 | 2009.06.16 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王邕保 |
分类号 | G01R31/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 吴靖靓;李丽 |
主权项 | 一种相似性检测方法,其特征在于,包括:获取两组检测数据,所述检测数据用于表征产品的性质,所述检测数据符合对数正态分布;建立各组检测数据的对数正态分布函数对应的线性回归模型;计算各组检测数据的线性回归模型对应的误差平方和以及误差均方;设置各组检测数据的线性回归模型对应的置信带,所述置信带与所述计算所得的误差均方关联;若每组检测数据的线性回归模型在另一组检测数据的线性回归模型对应的置信带内,确定两组检测数据相似。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |