| 发明名称 | 包含β-酮酸基配体的金属络合物 | ||
| 摘要 | 提供能够适合用于通过CVD法制造含金属薄膜的金属络合物和用以制造含金属薄膜的方法。包含具有烷氧基烷基甲基的β-酮酸基配体的金属络合物，和使用所述金属络合物通过CVD法制造含金属薄膜的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1953953B | 申请公布日期 | 2010.12.22 |
| 申请号 | CN200580015265.8 | 申请日期 | 2005.03.15 |
| 申请人 | 宇部兴产株式会社 | 发明人 | 角田巧;长谷川千寻;绵贯耕平;樱井弘之;金户宏树 |
| 分类号 | C07C49/92(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;C07F1/08(2006.01)N;C07F3/00(2006.01)N;C07F3/02(2006.01)N;C07F3/06(2006.01)N;C07F5/00(2006.01)N;C07F5/06(2006.01)N;C07F7/00(2006.01)N;C07F7/22(2006.01)N;C07F7/24(2006.01)N;C07F7/28(2006.01)N;C07F9/00(2006.01)N;C07F11/00(2006.01)N;C07F13/00(2006.01)N;C07F15/04(2006.01)N;C07F15/06(2006.01)N | 主分类号 | C07C49/92(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 范赤 |
| 主权项 | 1.一种具有β-酮酸基配体的金属络合物，所述配体含烷氧基烷基甲基基团，其中所述金属络合物由下式(3)表示：<img file="FSB00000047759000011.GIF" wi="1240" he="376" />其中X代表上述式(2)的烷氧基烷基甲基，其中每个R<sup>a</sup>和R<sup>b</sup>独立代表含1-5个碳原子的直链或支链烷基；Y代表上述式(2)的烷氧基烷基甲基或含1-8个碳原子的直链或支链烷基；Z代表氢原子或含1-4个碳原子的烷基；M代表金属原子；和n是1-4的整数。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||