气体调压纯化装置及工艺气体管路吹扫保压测试装置

摘要

本实用新型公开了一种气体调压纯化装置，所述气体调压纯化装置包括基板以及固定在所述基板上的高纯气体调压器、高纯气体纯化器以及高纯气体单向阀，所述气体调压纯化装置可使保压测试和吹扫用的钢瓶氮气的纯度得到进一步提高。同时本实用新型还公开了一种工艺气体管路吹扫保压测试装置，所述工艺气体管路吹扫保压测试装置包括钢瓶推车及放置在所述钢瓶推车上的氮气钢瓶，还包括与所述氮气钢瓶相连的气体调压纯化装置。使用该工艺气体管路吹扫保压测试装置对新装的气体管路进行保压测试和用高纯氮气吹扫时，氮气的消耗量降低，吹扫时间减少，从而降低成本。

主权项

一种气体调压纯化装置，其特征在于，包括基板以及固定在所述基板上的高纯气体调压器、高纯气体纯化器以及高纯气体单向阀，所述高纯气体调压器、高纯气体纯化器以及高纯气体单向阀依次相连。