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发明名称 Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials mittels eines Elektronenstrahls und zum Abscheiden des Dampfes auf ein Substrat
摘要
申请公布号 DE102006031244(B4) 申请公布日期 2010.12.16
申请号 DE200610031244 申请日期 2006.07.06
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 MATTAUSCH, GOESTA;FLASKE, HENRIK;LIEBIG, JOERN-STEFFEN;KIRCHHOFF, VOLKER;HEINSS, JENS-PETER;KLOSE, LARS
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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