| 主权项 |
一种薄膜电阻率自动测量仪，包括四探针(6)、恒流源(4)和电压电流测量模块(5)，其特征在于，还包括控制器(1)和电路切换模块(2)，控制器(1)、恒流源(4)、电路切换模块(2)和电压电流测量模块(5)依次连接构成回路，电路切换模块(2)的另外两端口分别连接控制器(1)和四探针(6)，电路切换模块(2)根据来自控制器(1)的电路切换信号选择四探针(6)中的两根探针作为电流探针，另外两根探针作为电压探针，恒流源(4)根据来自控制器(1)的电流控制信号产生恒定电流，使其通过电流探针，电压探针感应电势差，电压电流测量模块(5)测量恒定电流和电势差传送给控制器(1)，控制器(1)计算电阻率；所述电路切换模块(2)包括电流电压接线端子(222)和与其相接的线路切换模块(21)，电流电压接线端子(222)包括电流端子Iin和Iout，电压端子V+和V ，线路切换模块(21)包括第一、第二、第三、第四继电器，电流端子Iin连接所述恒流源(4)和所述四探针(6)的第一探针；电流端子Iout连接所述恒流源(4)、第一继电器的公共端和电压电流测量模块(5)；第一继电器的公共端连接电流端子Iout，常开触点连接第二继电器的公共端，常闭触点连接所述四探针(6)的第二探针；第二继电器的公共端连接第一继电器的常开触点，常闭触点连接第三探针，常开触点连接所述四探针(6)的第四探针；第三继电器的公共端连接电压端子V+，常闭触点连接第三探针，常开触点连接所述四探针(6)的第二探针；第四继电器的公共端连接电压端子V ，常闭触点连接第四探针，常开触点连接所述四探针(6)的第三探针；电压端子V+连接所述电压电流测量模块(5)和第三继电器的公共端；电压端子V 连接所述电压电流测量模块(5)和第四继电器的公共端；四个继电器的公共端与常闭触点、常开触点的闭合和断开组合形成三种电路连接方式，具体如下：第一连接方式：四个继电器的公共端连接常闭触点；第二连接方式：四个继电器的公共端连接常开触点；第三连接方式：第一、三继电器的公共端连接常开触点，第二、四继电器的公共端连接常闭触点。 |
