用于涂覆基材的设备及方法

摘要

本发明涉及一种使用物理气相沉积来涂覆基材的设备，其包含一真空室，一线圈(1)设置于该真空室内用来在该线圈内使用变化的电流将一定数量的导电材料(10)保持飘浮及用来加热与蒸发该材料，在该线圈内设有装置用来使该线圈与飘浮的材料隔离。根据本发明，该设备的特征在于该隔离装置为由不导电材料制成的容器(2)的一部分，该容器具有一个或多个开口(5)，用来将被蒸发的导电材料引导至该将被涂覆的基材。本发明还涉及一种使用物理气相沉积涂覆基材的方法。

主权项

一种使用物理气相沉积涂覆基材的设备，其包含真空室，一线圈设置于该真空室内，用来通过使用该线圈内变化的电流，使一定数量的导电材料保持飘浮并用来加热和蒸发该材料，其中，在该线圈内设有隔离装置，用来使该线圈与飘浮的材料隔离，其特征在于，该隔离装置为由不导电材料制成的容器的一部分，该容器具有一个或多个开口，用来将蒸发的导电材料引导至将被涂覆的基材，该容器设有加热装置以加热该容器，所述加热装置为在该容器的壁内的电线圈或电线，所述容器和开口的尺寸使得容器中的压力比真空室中的压力高10到1000倍。